alert icon
hide icon
Swagelok Helsinki

Yksinoikeutettu Swagelok® Myynti- ja palvelukeskus Swagelok-tuotteille Suomessa ja Baltian maissa

ALD-sarja, UHP-venttiilit atomikerroskasvatukseen

ALD-sarja, UHP-venttiilit atomikerroskasvatukseen

Erittäin nopeatoiminen venttiili, jonka avautumisnopeus on nopeimmillaan alle 5ms.

  • Erittäin hyvä syklien kesto yhdistettynä nopeaan toimintonopeuteen.
  • Cv arvot 0.27 - 1.7
  • Lämpötilan kesto jopa 200 astetta thermaalisella toimilaitteella.
  • Mahdollisuus elektroniseen ja optiseen asennontunnistamiseen.
  • 316L VIM-VAR haponkestävästä teräksestä valmistettu runko UHP-sovelluksiin
  • Modulaarinen , hitsattava ja VCR liitäntä mahdollisuus.

Kobolttipohjainen metalliseos kestävyyden ja korroosion keston lisäämiseksi. Venttiilin rakenne on suunniteltu helpon puhdistamisen ja epäpuhtauksien minimoimiseksi. Loistava kyky ehkäistä kontaminaatiot.

 

Uusi Swagelok© ALD7 UHP kalvoventtiili tarjoaa ennennäkemätöntä suorituskykyä, tarkkuutta ja kestävyyttä puolijohdeteollisuuden prosesseihin

New ALD7 valve for semiconducters

ALD7 tarjoaa kompaktimmassa paketissa kestävämpää, nopeampaa, tasaisempaa ja tarkempaa annostelua miljoonien syklien ALD-sovelluksille.

ALD7-venttiili tehostaa prosessin hallintaa entistä nopeammalla ja tarkemmalla vasteajalla. Venttiilin optimoidulla suunnittelulla mahdollistetaan tarkka virtaus sekä pitkä elinkaari, jotka vähentävät tuotannon huoltokustannuksia ja keskeytyksiä.

Toiminnot

Toimilaitteen kehitystyö on mahdollistanut ALD7-ventiilin toiminnot muita toimilaitteita nopeammin ja vasteaika on vain 5ms. ALD7-venttiili on suunniteltu kestämään korkeita lämpötiloja. Toimilaite kestää prosessilämpötiloja 150 °C saakka ja venttiilirunko 200 °C saakka, mikä takaa virtauksen tasaisuuden myös korkeissa lämpötiloissa. ALD7 virtauskerroin on 0,7 (Cv) mikä mahdollistaa tarkan, toistettavan annostelun.

Rakenne

ALD7:n kompakti muotoilu auttaa puolijohdeteollisuuden valmistajia parantamaan nykyisten järjestelmien tuottavuutta ilman merkittäviä prosessimuutoksia. Venttiilissä on integroitu lämmöneristin, joka madaltaa venttiilin profiilia ja antaa järjestelmän suunnittelijoille mahdollisuuden maksimoida tilankäyttö reaktiokammion läheisyydessä. Venttiilirunko koostuu patentoidusta, erittäin puhtaasta, ruostumattomasta Swagelok 316L VIM-VAR -teräksestä, mikä tarjoaa ALD7:lle kestävyyttä syövyttäviä kaasuja vastaan.

Tekniset tiedot

Työpaine: tyhjiöstä 10,0 bar:n (145 psig)
Toimilaitteen käyttöpaine: 4,1 - 8,2 bar (60 - 120 psig)
Lämpötilaluokitus:
Venttiilirunko 0°C (32°F) - 200°C (392°F)
Toimilaite 0 °C (32 °F) - 150 °C (302 °F)
Virtauskerroin: 0,7 Cv
Rungon materiaalit: 316L VIM-VAR ruostumatonta terästä
Kalvomateriaali Kobolttipohjainen seos
Liitostyypit VCR®-liittimet
Hitsausliitokset

TUTUSTU TUOTTEESEEN VERKkOKAUPASSAMME JA LATAA ESITE


 

ALD20 - Atomic Layer Deposition -paljeventtiili atomikerroskasvatukseen

Suuret virtaukset. Korkea lämpötila. Korkea suorituskyky. Seuraava puolijohdevalmistuksen kehitys alkaa tästä!

ALD20 - Atomic Layer Deposition -paljeventtiili atomikerroskasvatukseen

  • Materiaali Alloy 22 mahdollistaa myös erittäin korkean korroosion kestävyyden haastavassa toimintaympäristössä. 
  • ALD20-venttiilin runko ja toimilaite sopivat kokonaisuudessaan korkeiden lämpötilojen toimintaympäristöihin 200 ° C (392 ° F) saakka. 
  • ALD20 saavuttaa virtausnopeuden 1,2 Cv samassa koossa (1,5 tuumaa) kuin nykyiset ALD-venttiilit. Tämä tarjoaa mahdollisuuden parantaa suorituskykyä ilman kokoonpanojen uudelleenasemointia. 
  • Toinen hieman isompi ALD20 -venttiilivaihtoehto (1,75 tuumaa) tuottaa suuremman virtausnopeuden, 1,7 Cv, joka on korkein, mitä tällä hetkellä on saatavilla näistä erittäin korkean syklin (ultrahigh-cycle) UHP-venttiilistä. 
  • Venttiilit on saatavilla myös räätälöidyillä virtauskertomilla (Custom-set flow coefficients)

ALD20-venttiili sopii erityisesti kohteisiin, joissa tarvitaan tasaisempaa ja suurempaa virtausnopeutta sekä tarkkuutta ja kestävyyttä paljon toistoja vaativissa prosesseissa.  ALD20 -venttiili hyödyntää Alloy 22 materiaalin (UHP) erittäin puhdasta materiaalia sekä elektrokiillotettua paljetta, jossa palkeen silotetut pinnat estävät partikkeleiden irtoamista tai kiinnittymistä ja myöhempää, epätoivottua sekoittumista prosessiaineeseen prosessin eri vaiheessa. 

ALD20 UHP -venttiili on suunniteltu laajentamaan atomikerroskasvatuksen venttiilitekniikan mahdollisuuksia tarjoamalla kaksi tai kolme kertaa suuremman virtausnopeuden kuin, mikä voidaan saavuttaa aiemmilla ALD-venttiileillä. Tämä tarjoaa puolijohdesirujen valmistajille mahdollisuuden tehokkuuden parantamiseen muuttamatta prosesseja merkittävästi.  

Linkit:

LATAA ESITE (PDF) siirry verkkokauppaan

OTA YHTEYTTÄ JA KYSY LISÄÄ

"Turvallinen tuotevalinta: Tuoteluettelosta on varmistettava, että järjestelmän suunnittelija ja käyttäjä tekevät turvallisen tuotevalinnan. Tuotteita valittaessa on otettava huomioon järjestelmän kokonaissuunnitelma turvallisen ja ongelmattoman toiminnan varmistamiseksi. Toiminto, materiaalien yhteensopivuus, riittävät luokitukset, asianmukainen asennus, käyttö ja ylläpito ovat järjestelmän suunnittelijan ja käyttäjän vastuulla. 

Varoitus: Älä sekoita tai vaihda Swagelok putkiliittimien liitososia (tai muita tuotteita, jotka eivät ole teollisen suunnittelun standardien alaisia) muiden valmistajien kanssa."