Kalvoventtiilit
Kalvoventtiilit soveltuvat korkeaa puhtautta vaativiin sovelluksiin.
Korkea pinnanlaadun taso pienentää partikkeleiden muodostumista venttiilin pinnoille. Venttiilit kestävät korkean syklimäärän, joka pienentää huoltokustannuksia. Venttiilien rakenne mahdollistaa pienen kuolleen tilavuuden, joten epäpuhtauksia ei jää rakenteisiin.
Venttiilit on saatavilla kolmessa eri puhtaustasossa.
Kalvoventtiileitä voidaan käyttää paineilma ohjattuna tai käsikäyttöisenä. Kaikki kalvoventtiilit testataan tehtaalla heliumin avulla. Venttiilit ovat o-rengas vapaita. Tiivistys tapahtuu metallipintojen avulla. Toimilaitteet on saatavilla normaalisti kiinni, tai normaalisti auki asennoissa.
ALD-sarja, UHP-venttiilit atomikerroskasvatukseen
Erittäin hyvä syklien kesto yhdistettynä nopeaan toimintonopeuteen. Venttiilin rakenne on suunniteltu helpon puhdistamisen ja epäpuhtauksien minimoimiseksi.
Palje- ja Kalvotiivisteiset monitieventtiilit
Palje- ja Kalvotiivisteiset, Moniporttiset kulma- ja yksiosaiset monitieventtiilit, ALD, BN, DF, DL/DS, DP, ja HB-sarjat